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半径5μm的定向输出圆盘形微腔激光器

发布时间:2018-03-29 00:39

  本文选题:激光器 切入点:半导体激光器 出处:《中国激光》2017年09期


【摘要】:基于三维时域有限差分法,对半径为5μm的径向直连波导微腔激光器的模式及定向输出特性进行研究,得到了波长在1550nm附近的高品质因子(Q)横电模的Q值与光场分布特性。基于半导体平面加工工艺制备了AlGaInAs/InP圆盘形微腔激光器,微腔半径为5μm,波导宽度为1μm。该激光器在298K下实现了连续单模输出,阈值电流为4mA。在注入电流为9mA时,激光器的边模抑制比可达33.4dB。基于速率方程拟合了激光器模式强度随注入电流的变化,得到激光器的自发辐射因子约为5.5×10~(-3)。
[Abstract]:Based on 3D finite-difference time-domain method, the mode and directional output characteristics of a radial direct-connected waveguide micro-cavity laser with a radius of 5 渭 m are studied. The Q value and optical field distribution of the high quality factor Q) transverse mode near 1550nm are obtained. Based on the fabrication of semiconductor plane, the AlGaInAs/InP disk microcavity laser is fabricated. The microcavity radius is 5 渭 m and the waveguide width is 1 渭 m. The laser has a continuous single-mode output at 298K and a threshold current of 4mA. when the injection current is 9mA, The edge-mode rejection ratio of the laser can reach 33.4 dB. Based on the rate equation, the mode intensity of the laser varies with the injection current, and the spontaneous emission factor of the laser is about 5.5 脳 10 ~ (-1) ~ (-3) ~ (-1).
【作者单位】: 中国电子科技集团公司第二十九研究所;中国科学院半导体研究所;
【分类号】:TN248

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本文编号:1678820

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