NTP发生器生成活性物质及发射光谱研究

发布时间：2018-07-03 11:09

  本文选题：低温等离子体 + O　； 参考：《电子器件》2017年04期

【摘要】：对自行设计的NTP发生器进行了性能试验,研究了电学参量、气源对活性物质生成及发射光谱的影响。结果表明,活性物质主要为O_3和NO_2,且观测到明显的N_2第2正带系谱峰。随着放电电压峰峰值或放电频率的升高,能量密度增大,O_3和NO_2浓度先增加后减小,N_2第2正带系谱峰显著,光谱强度随之增大。随着气体流量增大,能量密度减小,O_3和NO_2浓度及光谱强度均呈先增后减的趋势。随着气源中O_2含量增加,O_3和NO_2浓度增大,当O_2含量为80%时,O_3和NO_2浓度分别超过20 000×10(-6)和10 000×10(-6);光谱强度则逐渐减弱。
[Abstract]:The performance tests of the NTP generator designed by ourselves were carried out, and the effects of electrical parameters and gas sources on the formation and emission spectra of active substances were studied. The results showed that the main active substances were O _ s _ 3 and no _ 2, and the second positive band pedigree peak of NSP _ 2 was observed. With the increase of the peak value of discharge voltage or the discharge frequency, the energy density increases firstly and then decreases the second positive band pedigree peak of N2, and the spectral intensity increases accordingly. With the increase of gas flow rate, the energy density decreases and the concentration and spectral intensity of O _ (3) and no _ (2) increase first and then decrease. With the increase of the content of O _ 2 in gas source, the concentration of O _ 3 and no _ 2 increases. When the content of O _ (2) is 80, the concentration of O _ (2) and no _ (2) exceed 20 000 脳 10 (-6) and 10 000 脳 10 (-6), respectively, and the spectral intensity decreases gradually.
【作者单位】： 江苏大学汽车与交通工程学院;
【基金】：国家自然科学基金项目(51176067) 江苏省“六大人才高峰”项目(2013-ZBZZ-036) 江苏大学高级人才启动基金项目(13JDG055)
【分类号】：O53

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5 张s，

本文编号：2093438