放电准分子激光电磁干扰环境下控制系统设计

发布时间：2018-07-17 15:51

【摘要】：为了在放电激励准分子激光的电磁干扰环境下,实现有效的抗干扰控制系统设计,采用全光纤接口设计和基于电压频率转换实现的高精度模拟信号传输的方法,取得了放电准分子激光空间电磁干扰强度和压频转换波形等数据,进行了理论分析和实验验证。结果表明,在最强电场干扰14V/m、最强磁场干扰38A/m的条件下,系统能够实现误差小于2.5%的模拟信号稳定传输,工作稳定可靠。这一结果对分析和设计能够稳定工作并抗干扰的准分子激光器控制系统是有帮助的。
[Abstract]:In order to realize the effective design of anti-jamming control system under the electromagnetic interference environment of discharge excited excimer laser, the method of high-precision analog signal transmission based on voltage-frequency conversion and all-fiber interface design is adopted. The data of spatial electromagnetic interference (EMI) and voltage-frequency conversion waveform of discharge excimer laser are obtained, and the theoretical analysis and experimental results are carried out. The results show that under the condition that the strongest electric field interferes with 14V / m and the strongest magnetic field interferes with 38A/m, the system can realize the stable transmission of analog signal with error less than 2.5% and work stably and reliably. The results are helpful to the analysis and design of an excimer laser control system which can work stably and resist interference.
【作者单位】： 中国科学技术大学环境科学与光电技术学院;中国科学院安徽光学精密机械研究所;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61307112)
【分类号】：TP273;TN248

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