子孔径拼接干涉的快速调整及测量

发布时间：2018-08-04 20:27

【摘要】：考虑高精度子孔径拼接干涉测量技术对自动化拼接的要求,提出了一种子孔径零条纹自动快速调节方法。分析了干涉条纹数量对拼接误差的影响,分析显示:当子孔径干涉条纹数量少于5条时,干涉仪回程误差小于λ/50(PV值)。对子孔径拼接测量装置进行了结构优化,提出了拼接位移台角位移偏差自动补偿方法,实现了各个子孔径的零条纹测量,进而控制了子孔径拼接的累积误差。对450mm×60mm长条镜进行了子孔径拼接干涉测量,结果表明:自动测量结果与手动调整零条纹测量结果在面形分布上更为一致;但前者测量速度及测量效率都有所提高,测量时间平均减少5min。提出的方法不仅能完成干涉拼接测量装置的自动定位及自动快速调整,还提高了测量重复性与检测效率。
[Abstract]:Considering the requirement of high precision subaperture splicing interferometry for automatic stitching, a subaperture zero fringe automatic and fast adjusting method is proposed. The effect of the number of interference fringes on the splicing error is analyzed. It is shown that when the number of interference fringes is less than 5, the error of the interferometer return range is less than 位 / 50 (PV value). The structure of the subaperture splicing measuring device is optimized, and the automatic compensation method of the angular displacement deviation of the splicing displacement table is put forward. The zero fringe measurement of each sub-aperture is realized, and the cumulative error of the sub-aperture splicing is controlled. The subaperture splicing interferometry of 450mm 脳 60mm strip mirror is carried out. The results show that the result of automatic measurement is more consistent with that of manual adjustment of zero fringe, but the measuring speed and efficiency of the former are improved. The average measuring time was reduced by 5 mins. The proposed method can not only realize the automatic positioning and automatic adjustment of the interferometric splicing measuring device, but also improve the repeatability of measurement and the efficiency of detection.
【作者单位】： 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室;
【基金】：国家科技重大专项资助项目(No.2011zx02402-003)
【分类号】：O436.1

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本文编号：2165041