全息光栅拼接系统中的像差补偿法

发布时间：2018-09-14 16:45

【摘要】：全息光栅拼接参数需要用参考干涉条纹来检测。系统像差会造成干涉条纹扭曲,产生光栅拼接误差。为补偿像差造成的光栅拼接误差,对像差与干涉条纹扭曲量之间的理论关系进行了研究,利用计算机模拟了参考干涉条纹图像,并将光栅拼接误差预调制到参考干涉条纹图像中。为验证该方法的有效性,在曝光系统像差峰-峰值为0.72λ的情况下进行了光栅拼接实验,在光栅拼缝处像差造成-1级衍射波面最大突变量为0.36λ。利用预制参考干涉条纹图像作为拼接参考时,其最大突变量为0.097λ。实验结果表明,在曝光系统像差较大的情况下,干涉条纹预制法能够有效地控制光栅拼接误差。
[Abstract]:The parameters of holographic grating splicing need to be detected by reference interference fringes. The aberration of the system will cause distortion of the interference fringes and the grating splicing error. In order to compensate the error of grating splicing caused by aberration, the theoretical relationship between aberration and distortion of interference fringes is studied. The reference interference fringe images are simulated by computer. The grating splicing error is premodulated into the reference interference fringe image. In order to verify the effectiveness of this method, a grating splicing experiment is carried out under the condition that the aberration peak to peak value of the exposure system is 0.72 位. The maximum abrupt amount of diffraction wave surface of order -1 caused by aberration of grating splicing is 0.36 位. When the prefabricated reference interference fringe image is used as the mosaic reference, the maximum mutation amount is 0.097 位. The experimental results show that the interference fringe prefabrication method can effectively control the grating splicing error when the aberration of the exposure system is large.
【作者单位】： 苏州市职业大学电子信息工程学院;苏州大学物理与光电能源学部苏州纳米科技协同创新中心;
【基金】：国家自然科学基金(61178046) 江苏省高校自然科学研究重大项目(11KJA14001)
【分类号】：TN25

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