射频离子源朗缪尔双探针设计

发布时间：2018-11-19 21:01

【摘要】：射频离子源具有的复杂电磁环境会干扰甚至使得朗缪尔单探针无法准确获得等离子体参数。双探针具有对等离子体的干扰较小,不需要参考电位等优点,因此更加适用于射频离子源下的等离子体诊断。为了使得朗缪尔双探针更加精确地测量电子温度与离子密度,必需在测量电路中增加针对干扰源频率的滤波电路系统。本文针对射频离子源等离子体诊断设计了探针测量电路,并进行了仿真计算和分析,结果表明:探针的抗干扰能力与测量精度均具有明显的改善。
[Abstract]:The complex electromagnetic environment of the RF ion source may interfere with or even make the Langmuir single probe unable to obtain the plasma parameters accurately. The double probe has the advantages of less interference to plasma and no reference potential, so it is more suitable for plasma diagnosis under RF ion source. In order to make Langmuir double probe measure electron temperature and ion density more accurately, the filter circuit system for interference source frequency must be added to the measuring circuit. In this paper, the probe measurement circuit is designed for the RF ion source plasma diagnosis, and the simulation calculation and analysis are carried out. The results show that the anti-interference ability and measurement accuracy of the probe are improved obviously.
【作者单位】： 中国科学院等离子体物理研究所;中国科学技术大学科学岛分院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(11405207,11505224,11505225)
【分类号】：TL65

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本文编号：2343410