激光沉积大面积均匀类金刚石膜的设计改进及实验

发布时间：2018-12-28 21:42

【摘要】：针对激光等离子体的边缘粒子对激光沉积类金刚石膜性能的不利影响,改进自转衬底一维变速平移技术的大面积均匀镀膜机构。利用开孔的挡板滤除等离子体边缘的粒子,同时在原有膜厚分布数学模型中加入相应的模块;通过优化模型中的机构运动参数,指导实验获得了直径200 mm的大面积均匀类金刚石膜。测试结果表明:该类金刚石膜的不均匀性为±4.5%,且膜厚分布特征与理论优化结果相同,同时纳米硬度和红外透过率较改进前显著提高;相对于改进前的大面积均匀镀膜技术,改进后的机构具有更实际的应用价值。
[Abstract]:Aiming at the adverse effect of the edge particles of laser plasma on the performance of diamond-like carbon film deposited by laser, a large area uniform coating mechanism is improved by using one-dimensional variable speed translation technique on the rotation substrate. The particles at the edge of the plasma are filtered by the open-hole baffle, and the corresponding modules are added to the original mathematical model of film thickness distribution. A large area homogeneous diamond-like carbon film with a diameter of 200 mm was obtained by optimizing the kinematic parameters of the mechanism in the model. The results show that the inhomogeneity of the diamond films is 卤4.5, and the film thickness distribution is the same as that of the theoretical optimization. Meanwhile, the nano-hardness and infrared transmittance of the diamond films are improved significantly. Compared with the large area uniform coating technology before the improvement, the improved mechanism has more practical application value.
【作者单位】： 武汉军械士官学校光电技术研究所;
【基金】：国家部委预先研究项目(51318060212)
【分类号】：TN249

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本文编号：2394472