交流电压激励大气压等离子体刷的放电特性研究
【学位单位】:河北大学
【学位级别】:硕士
【学位年份】:2018
【中图分类】:O53
【部分图文】:
第 1 章 引言第 1 章 引言近年来,大气压等离子体已经成为低温等离子体研究的热点之一,引起了人们广泛关注。与低气压等离子体相比,大气压等离子体可以在开放的空间,无需真空装置,且结构简单,经济实用,操作便捷,便于流水线生产,因此在各个领域具有非常重要应用前景。例如:在生物医学领域,伤口愈合、杀菌消毒,对一些细菌、真菌以及病等病变的微生物处理使其失活[1-7];在工业领域,纳米材料制备、表面改性、臭氧产生、蚀、薄膜沉积、等离子体灯制造、等离子体显示[8-13];在环境领域,如废气、脱硫脱等[14,15];以及在军事领域可用于等离子体隐身[16]等诸多领域得到应用。(a)(b)
压下易于实现气体放电,但是放电不稳定容易过渡到丝状放电。因此如何可以抑制大气压放电的不稳定性,在大气压下实现均匀放电,这样的研究对于工业应用具有重要意义。传统的在大气压中获得等离子体的放电方式主要有:电晕放电、辉光放电、弧光放电。对于这几种放电相比:电晕放电产生活性粒子的效率低,不适合于工业的应用;弧光放电可以高效率地产生活性粒子,但是电子温度极高容易损坏仪器设备或生物材料;与前面两种放电比较,辉光放电不仅放电稳定容易产生等离子体,而且电子温度适中更适合于各领域的应用,因此大气压辉光放电近年来受到人们更多的关注。最初的大气压辉光放电是通过介质阻挡获得的,即通过在两电极间插入介质板来抑制辉光向弧光的转变,进而获得稳定弥散的辉光放电。20 世纪 80 年 Okazaki 等[17]首次通过在介质阻挡电极结构、特定的驱动频率下获得了大气压氦气的均匀放电,该研究引起了广泛的关注。随后,Massines 等[18]证实了在氦气中的弥散放电属于大气压辉光放电。此外 Fang 等[19]研究空气介质阻挡放电发现气隙间距和介质厚度越小放电越稳定。Garamoon 等[20]通过Al2O3作为电介质在大气压空气中可以获得辉光放电,而用玻璃作为电介质则变为丝状
然而,普遍在大气压下介质阻挡放电中两电极间隙很小,其间隙通常只有几 mm[22],因此使得待处理材料的尺度也受到了限制,即大气压介质阻挡放电很难处理大体积的三维物体。为了解决这一问题,人们研发了大气压等离子体喷枪[23-26],其实质的机理是利用气流将电极区放电产生的等离子体吹出,在气流下游区域可以产生具有一定的均匀等离子体,从而使等离子体产生区和应用区实现分离,消除了电极对待处理材料尺度的限制。由于等离子体喷枪具有这样的优势,所以人们对其进行了大量研究,相继研发了各种类型的等离子体喷枪[27]。Uchida 等[28]利用不同波形的电压激励氦气喷枪,产生了不同长度的等离子体羽,并对其光谱特性进行了对比研究。Yambe 等[29]利用射频电压激励氦气喷枪,发现喷枪内径对等离子体羽长度有影响。Chang 等[30]利用正弦电压激励双环型氦气喷枪,对不同峰值电压及气体流量下的放电模式进行了研究。Liu 等[31]利用脉冲电压激励针-环型喷枪,研究了电极间距对氦气等离子体羽中活性粒子浓度和气体温度的
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本文编号:2845501
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