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铟酸铋—钛酸铅薄膜的铁电和压电特性研究

发布时间:2021-05-24 05:43
  本文主要研究xBiInO3-(1-x)PbTiO3(xBI-(1-x)PT)薄膜材料的制备与表征,包括:晶体结构与形貌、铁电性、居里温度、压电性等相关内容。全文共分为五章,除第一章绪论和第五章总结与展望之外,主要包括三部分内容:(1)xBI-(1-x)PT薄膜的制备、晶体结构与形貌、铁电性、居里温度等特性的研究;(2)基于悬臂梁方法的xBI-(1-x)PT薄膜横向压电特性的实验研究;(3)xBI-(1-x)PT薄膜横向压电特性的理论研究。1、xBI-(1-x)PT薄膜材料的制备与薄膜结构、铁电、居里温度特性研究近年来,铁电薄膜在存储器、表面声波及光电器件等领域的应用得到了广泛关注和研究。为了保证铁电器件具有优良性能,要求铁电材料具有大的剩余极化强度(Pr)及高的居里温度(Tc)。发展高温铁电薄膜材料是重要的问题,特别是在汽车工业、航空航天以及地质和石油勘探等领域中存在温度相对较高(T>200℃C)、且波动较大的情况,对铁电薄膜器件的温度稳定性提出了更加苛刻的要求。钙钛矿系固溶体Bi(Me)O3-PbTiO3(Me:Sc,In,Y,Yb,etc.)高温铁电陶瓷、薄膜材料成为高居里温... 

【文章来源】:南京大学江苏省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】:112 页

【学位级别】:博士

【文章目录】:
前言
摘要
Abstract
第一章 绪论
    1.1 铁电、压电材料研究进展
    1.2 铁电、压电功能材料的特性
        1.2.1 铁电材料的特性
        1.2.2 压电材料的特性
    1.3 钙钛矿结构薄膜材料的掺杂改性研究
    1.4 薄膜的制备方法
    1.5 Bi(Me)O_3-PbTiO_3材料体系研究
        1.5.1 Bi(Me)O_3-PbTiO_3陶瓷材料的研究
        1.5.2 Bi(Me)O_3-PbTiO_3薄膜材料的研究现状
    1.6 本论文主要工作
    参考文献
第二章 xBI-(1-x)PT薄膜的制备、结构、铁电特性和居里温度研究
    2.1 引言
    2.2 实验方法
        2.2.1 射频磁控溅射系统
        2.2.2 薄膜的测试方法
    2.3 样品的制备
        2.3.1 电极、缓冲层的选择和设计
        2.3.2 xBI-(1-x)PT薄膜的制备
    2.4 实验结果与讨论
        2.4.1 xBI-(1-x)PT薄膜结构分析
        2.4.2 La掺杂xBI-(1-x)PT薄膜的铁电特性
        2.4.3 La掺杂xBI-(1-x)PT薄膜的介电特性与居里温度
        2.4.4 基于Si基底的xBI-(1-x)PT薄膜铁电特性
    2.5 本章小结
    参考文献
第三章 xBI-(1-x)PT薄膜横向压电特性----基于悬臂梁方法的实验研究
    3.1 引言
    3.2 实验方法
        3.2.1 xBI-(1-x)PT压电薄膜悬臂梁的制备与表征
        3.2.2 悬臂梁弯曲振动的测量
    3.3 横向压电系数检测原理
        3.3.1 压电方程组
        3.3.2 基于悬臂梁的有效横向压电系数的计算
    3.4 实验结果与讨论
        3.4.1 3mol.% La掺杂xBI-(1-x)PT薄膜的横向压电特性
        3.4.2 不同比例La掺杂0.15BI-0.85PT薄膜的横向压电特性
    3.5 本章小结
    参考文献
第四章 xBI-(1-x)PT薄膜的横向压电特性理论研究
    4.1 引言
    4.2 PbTiO_3弹性参数的计算
    4.3 La掺杂xBI-(1-x)PT薄膜的弹性参数计算
        4.3.1 弹性顺度计算模型及方法
        4.3.2 弹性顺度系数的计算结果
    4.4 基于COMSOL的压电薄膜材料的悬臂梁仿真研究---PZT-5A/MgO悬臂梁
        4.4.1 有限元计算过程
        4.4.2 PZT-5A横向压电系数的COMSOL计算
    4.5 xBI-(1-x)PT压电薄膜有效横向压电特性仿真研究
    4.6 本章小结
    参考文献
第五章 总结与展望
博士学位期间完成的论文
致谢


【参考文献】:
期刊论文
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[3]力电多场鼓包法测定PZT铁电薄膜的横向压电系数[J]. 何元东,孙长振,毛卫国,毛贻齐,张宏龙,陈彦飞,裴永茂,方岱宁.  材料导报. 2017(15)
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博士论文
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[2]钽铌酸钾晶体居里温度附近临界特性研究[D]. 姚博.哈尔滨工业大学 2016
[3]钪酸铋—钛酸铅高温压电陶瓷的性能优化及其器件应用[D]. 赵天龙.山东大学 2016
[4]钙钛矿型铁电薄膜异质结构的取向生长及性能研究[D]. 张伟.山东大学 2014
[5]PZT基双层压电复合薄膜制备及性能研究[D]. 孟祥钦.电子科技大学 2014
[6]高居里点钙钛矿型压电薄膜材料的制备、结构与性能研究[D]. 钟财富.清华大学 2012



本文编号:3203658

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