Ptychography相位成像及其关键技术进展

发布时间：2021-07-23 00:25

　　Ptychography是近些年快速发展起来的一种新型相位恢复技术,通过对待测样品以小于照明光直径的步长扫描后,利用迭代计算可以重建出照明光和样品复振幅分布,是一种理论分辨率为衍射极限的非透镜相位成像技术。虽然其提出初期受限于基本假定条件,但近些年随着相关研究的跟进,人们对Ptychography算法特性的理解逐渐深入,算法也日趋成熟,在可见光、X射线和电子束等领域已被广泛应用于相位成像、波前诊断和光学计量,因此针对影响重建过程和精度的关键因素,如模态多样化、扫描误差、光斑误差、距离误差、样品厚度不可忽略等进行了总结,并讨论了针对上述问题的关键技术进展。 

【文章来源】：光学学报. 2020,40(01)北大核心EICSCD

【文章页数】：18 页

【部分图文】：

相关匹配算法原理图。

Ptychography基本光路图

当数据记录完成后,需要通过迭代计算进行重建。以可以同时重建照明光和待测样品的ePIE算法为例进行说明,首先对待测样品和照明光分布进行初始猜测,分别为O0和P0,下标为迭代次数,第k次迭代过程如图2所示。1) 计算第j个扫描位置对应的出射光ψj=Pk·Ok(r-Rj),并计算其传播距离D后的衍射光 E j = Ι(ψ j ,D)=| E j | exp (iφ j ) ,其中r=(x,y)表示空间坐标,I表示正向传播,Ej对应的振幅和相位分别为 | E j | 和φj;

【参考文献】：
期刊论文
[1]相干衍射成像研究进展:叠层扫描相干衍射成像和相干调制成像[J]. 张福才,许文慧,何振飞,吕文明,王秋,王航宇.  红外与激光工程. 2019(06)
[2]基于图像信息熵的ptychography轴向距离误差校正[J]. 窦健泰,高志山,马骏,袁操今,杨忠明.  物理学报. 2017(16)
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[4]基于光栅分光法的相干衍射成像[J]. 刘诚,潘兴臣,朱健强.  物理学报. 2013(18)



本文编号：3298207