表面纳米粒子缺陷的偏振散射特性区分
发布时间:2021-11-29 07:19
为了区分纳米量级的表面上方颗粒物灰尘与表面下方气泡粒子这两种表面缺陷,且获得该方法的适用环境与最佳观测条件,根据瑞利散射理论结合偏振双向反射分布函数,建立了两种表面缺陷的偏振散射模型并进行了验证。在此基础上,通过仿真分析得到不同缺陷环境、不同观测条件对两种表面缺陷粒子偏振散射特性的影响。结果表明:利用p偏振光入射表面,而后探测p偏振光的双向反射分布函数值随散射方位角的变化趋势可区分两种表面缺陷;无论表面下方气泡粒子位置如何改变,均不影响该趋势的变化情况;不同光学元件表面材料、缺陷粒子种类、缺陷粒子大小对两种表面缺陷的偏振散射模型有一定影响,但整体趋势不变。实验中,针对本文所述两种表面缺陷进行区分时,可选取入射角度和探测散射角度均为45°,采用较小波长入射光进行实验。
【文章来源】:中国光学. 2020,13(05)北大核心EICSCD
【文章页数】:13 页
【参考文献】:
期刊论文
[1]荧光成像技术无损探测光学元件亚表面缺陷[J]. 刘红婕,王凤蕊,耿峰,周晓燕,黄进,叶鑫,蒋晓东,吴卫东,杨李茗. 光学精密工程. 2020(01)
[2]基于移相技术的含缺陷复合材料锁相热波检测[J]. 王震,杨正伟,陶胜杰,朱海波,张炜. 红外与激光工程. 2019(S2)
[3]超光滑表面缺陷的分类检测研究[J]. 解格飒,王红军,王大森,田爱玲,刘丙才,朱学亮,刘卫国. 红外与激光工程. 2019(11)
[4]航空复合材料内部缺陷差动式激光红外热成像检测[J]. 王强,胡秋平,邱金星,裴翠祥,刘铭,李欣屹,周洪斌. 红外与激光工程. 2019(05)
[5]利用光散射特性研究光学表面中瑞利缺陷粒子的方位诊断[J]. 巩蕾,吴振森,潘永强. 光子学报. 2014(08)
[6]金属圆柱工件缺陷的光电检测[J]. 张静,叶玉堂,谢煜,刘霖,常永鑫. 光学精密工程. 2014(07)
硕士论文
[1]基于散射光暗场显微的基片表面颗粒检测方法研究[D]. 艾立夫.中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所) 2019
本文编号:3526086
【文章来源】:中国光学. 2020,13(05)北大核心EICSCD
【文章页数】:13 页
【参考文献】:
期刊论文
[1]荧光成像技术无损探测光学元件亚表面缺陷[J]. 刘红婕,王凤蕊,耿峰,周晓燕,黄进,叶鑫,蒋晓东,吴卫东,杨李茗. 光学精密工程. 2020(01)
[2]基于移相技术的含缺陷复合材料锁相热波检测[J]. 王震,杨正伟,陶胜杰,朱海波,张炜. 红外与激光工程. 2019(S2)
[3]超光滑表面缺陷的分类检测研究[J]. 解格飒,王红军,王大森,田爱玲,刘丙才,朱学亮,刘卫国. 红外与激光工程. 2019(11)
[4]航空复合材料内部缺陷差动式激光红外热成像检测[J]. 王强,胡秋平,邱金星,裴翠祥,刘铭,李欣屹,周洪斌. 红外与激光工程. 2019(05)
[5]利用光散射特性研究光学表面中瑞利缺陷粒子的方位诊断[J]. 巩蕾,吴振森,潘永强. 光子学报. 2014(08)
[6]金属圆柱工件缺陷的光电检测[J]. 张静,叶玉堂,谢煜,刘霖,常永鑫. 光学精密工程. 2014(07)
硕士论文
[1]基于散射光暗场显微的基片表面颗粒检测方法研究[D]. 艾立夫.中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所) 2019
本文编号:3526086
本文链接:https://www.wllwen.com/kejilunwen/wulilw/3526086.html