同步辐射光束线辉光放电清洗研究
发布时间：2021-12-15 22:13
同步辐射光束线上存在的碳污染问题不仅影响光束线特别是软X光束线传输效率而且会降低光学元件使用寿命。目前解决碳污染问题主要途径是对已经污染的光学元件进行清洗或更换。已有大量实验研究表明碳污染的生成与真空镜箱的洁净度特别是腔壁表面的油分子数量有非常大的关系。本文目的是利用辉光放电对镜箱真空室壁进行清洗,获得更加洁净的真空室,力争从源头上减少光学元件碳污染的产生。论文主要包括如下内容:建立了氩气氧气（Ar/O2）放电的二维流体模型,并用有限元方法求解得到了放电物理参数的空间分布,包括电子密度、电子温度、电势、离子密度（Ar+、O2+、O-）、亚稳态粒子密度（Ar*、O2（a1?g）、O2（b1Σg+）、O（1D））。通过对放电空间内等离子体的数值模拟,分析了气体比例、电压、气压和电极排布对...
【文章来源】：中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所)上海市
【文章页数】：129 页
【学位级别】：博士
【部分图文】：
同步辐射装置的发展
第 1 章 绪论谱亮度可以达到10171020phs s mm2mrad20 1%BW，光通量phs s 0 1%BW[7]；4) 光束线及实验站：前端引出若干条光束线，在光束线末端建设实验
图1.3上海同步辐射光源Figure 1.3 Shanghai Synchrotron Radiation Facility1.1.2 同步辐射光束线同步辐射光束线作用是将同步辐射光从储存环以一定的传输和变换方式引出到用户实验站，给实验提供特定性能的同步光，是位于储存环和实验站之间的一套光学真空系统，是实验线站和储存环之间的桥梁。主要由前置准直系统、单色光色散系统、后置聚焦系统等组成。以上海光源 08U 软 X 射线谱学显微光束线站为例，如图1.4所示，构成光束线的主要关键部件包括：水冷白光狭缝、白3
【参考文献】：
期刊论文
[1]Cleaning of carbon-contaminated optics using O2/Ar plasma[J]. Yi-Fei Zhang,Hong-Xin Luo,Zhi Guo,Xiang-Jun Zhen,Ming Chen,Jun-Nan Liu. Nuclear Science and Techniques. 2017(09)
[2]基于GIXRR反射率曲线的二氧化硅纳米薄膜厚度计算[J]. 马一博,王梅玲,王海,袁珮,范燕,邢化朝,高思田. 光谱学与光谱分析. 2016(10)
[3]Introduction of the X-ray diffraction beamline of SSRF[J]. 杨铁莹,文闻,阴广志,李晓龙,高梅,顾月良,李丽,柳义,林鹤,张兴民,赵滨,刘亭坤,杨迎国,黎忠,周兴泰,高兴宇. Nuclear Science and Techniques. 2015(02)
[4]等离子体清洗同步辐射光学元件[J]. 尉伟,王秋平,王勇,余小江,高兴宇. 真空科学与技术学报. 2009(06)
[5]光学元件清洗过程中同步辐射活化氧的研究(英文)[J]. 钟鹏飞,周洪军,霍同林,张国斌,郑津津. 光学精密工程. 2007(12)
[6]气体放电实验与帕邢定律[J]. 侯清润,茅卫红,陈宜保. 物理实验. 2004(01)
[7]等离子体装置器壁的直流和高频辉光放电清洗[J]. 辜学茂,程珊华,李成富,郭文康,罗南昌,胡婉芬,钱潮. 真空科学与技术. 1986(02)
[8]真空壁的辉光放电清洗[J]. 傅积闿,郭德全,程珊华,秦品健,阮永田,谢纪康. 真空科学与技术. 1984(01)
[9]对不锈钢表面的辉光放电清洗[J]. 冯广泽,洪文玉,唐素筠,孙立. 真空科学与技术. 1981(05)
硕士论文
[1]高能劳厄单色器晶体压弯机构的优化设计[D]. 张海云.中国科学院研究生院(上海应用物理研究所) 2017
本文编号：3537234
【文章来源】：中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所)上海市
【文章页数】：129 页
【学位级别】：博士
【部分图文】：
同步辐射装置的发展
第 1 章 绪论谱亮度可以达到10171020phs s mm2mrad20 1%BW，光通量phs s 0 1%BW[7]；4) 光束线及实验站：前端引出若干条光束线，在光束线末端建设实验
图1.3上海同步辐射光源Figure 1.3 Shanghai Synchrotron Radiation Facility1.1.2 同步辐射光束线同步辐射光束线作用是将同步辐射光从储存环以一定的传输和变换方式引出到用户实验站，给实验提供特定性能的同步光，是位于储存环和实验站之间的一套光学真空系统，是实验线站和储存环之间的桥梁。主要由前置准直系统、单色光色散系统、后置聚焦系统等组成。以上海光源 08U 软 X 射线谱学显微光束线站为例，如图1.4所示，构成光束线的主要关键部件包括：水冷白光狭缝、白3
【参考文献】：
期刊论文
[1]Cleaning of carbon-contaminated optics using O2/Ar plasma[J]. Yi-Fei Zhang,Hong-Xin Luo,Zhi Guo,Xiang-Jun Zhen,Ming Chen,Jun-Nan Liu. Nuclear Science and Techniques. 2017(09)
[2]基于GIXRR反射率曲线的二氧化硅纳米薄膜厚度计算[J]. 马一博,王梅玲,王海,袁珮,范燕,邢化朝,高思田. 光谱学与光谱分析. 2016(10)
[3]Introduction of the X-ray diffraction beamline of SSRF[J]. 杨铁莹,文闻,阴广志,李晓龙,高梅,顾月良,李丽,柳义,林鹤,张兴民,赵滨,刘亭坤,杨迎国,黎忠,周兴泰,高兴宇. Nuclear Science and Techniques. 2015(02)
[4]等离子体清洗同步辐射光学元件[J]. 尉伟,王秋平,王勇,余小江,高兴宇. 真空科学与技术学报. 2009(06)
[5]光学元件清洗过程中同步辐射活化氧的研究(英文)[J]. 钟鹏飞,周洪军,霍同林,张国斌,郑津津. 光学精密工程. 2007(12)
[6]气体放电实验与帕邢定律[J]. 侯清润,茅卫红,陈宜保. 物理实验. 2004(01)
[7]等离子体装置器壁的直流和高频辉光放电清洗[J]. 辜学茂,程珊华,李成富,郭文康,罗南昌,胡婉芬,钱潮. 真空科学与技术. 1986(02)
[8]真空壁的辉光放电清洗[J]. 傅积闿,郭德全,程珊华,秦品健,阮永田,谢纪康. 真空科学与技术. 1984(01)
[9]对不锈钢表面的辉光放电清洗[J]. 冯广泽,洪文玉,唐素筠,孙立. 真空科学与技术. 1981(05)
硕士论文
[1]高能劳厄单色器晶体压弯机构的优化设计[D]. 张海云.中国科学院研究生院(上海应用物理研究所) 2017
本文编号：3537234
本文链接：https://www.wllwen.com/kejilunwen/wulilw/3537234.html
