反射相移在Fabry-Perot标准具间距测量中的影响

发布时间：2022-12-23 12:55

　　基于光学薄膜理论,采用光学特征矩阵法推导了空气隙Fabry-Perot（F-P）标准具高反射膜反射相移与入射角的数学模型,并用TFCalc膜系设计软件仿真分析了入射角范围在0°～3°时反射相移的变化,对数学模型进行了验证。结果表明,反射相移与入射角呈指数递增,入射角度在3°时反射相移为2.88×10^-3 rad。实验搭建了F-P干涉成像光路,测得F-P标准具间距为（2015.50919±0.00002）μm,相对误差限约为8.6×10^-9;与未考虑反射相移的测量结果[间距为（2015.50864±0.00082）μm,相对误差限约为9×10^-7]相比,测量准确度有了明显改善。 

【文章页数】：7 页

【文章目录】：
1 引言
2 测量F-P标准具间距d的基本原理
3 基于反射相移的间距测量模型的改进
    3.1 F-P标准具反射相移的理论分析
    3.2 小数重合法测间距d原理的改进
4 F-P标准具间距测量实验与结果分析
    4.1 间距测量实验装置
    4.2 同心干涉圆环数据处理及直径Di的求取
    4.3 F-P标准具间距的结果分析
5 结论


【参考文献】：
期刊论文
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[5]角度调谐滤光片的膜系优化设计算法[J]. 俞侃,刘文,黄德修,黄华茂.  中国激光. 2007(09)
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本文编号：3725134