基于斜入射光反射差技术检测微倾角

发布时间：2022-12-24 12:41

　　利用斜入射光反射差技术对表面光滑、上下面存在倾角为0.23°的20号钢样品表面进行扫描成像.成像结果显示:位置对斜入射光反射差信号产生明显影响,在扫描的0.3mm×0.3mm范围内,2条对角线上的信号变化率分别为81.5%与33.3%.对于上下面存在微倾角的柱状样本,不同位置存在微小厚度差,使得光程发生变化,反射率及反射光相位发生改变,从而改变倍频信号的强度.因此,斜入射光反射差技术可检测材料表面的微倾角. 

【文章页数】：4 页

【文章目录】：
1 实验原理
2 实验仪器与样品
3 结果与讨论
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
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本文编号：3726161