一种MEMS陀螺仪温度漂移误差补偿方法

发布时间：2018-07-09 19:26

  本文选题：惯性测量 + 微电子机械系统(MEMS)　； 参考：《微纳电子技术》2017年08期

【摘要】：为了降低温度对MEMS陀螺仪测量的影响,提高自制惯性测量系统的测量精度,研究了三轴MEMS陀螺仪的零偏、比例因子、安装误差等参数受温度影响的特性,建立了带有温度参数的三轴MEMS陀螺仪误差模型。在该模型的基础上进行了全温区(-20~60℃)的温变实验,拟合出三轴MEMS陀螺仪各个参数与温度的关系,确定了模型中的相关参数,并通过此模型对不同温度下的陀螺仪输出结果进行误差补偿。实验结果表明,该三轴MEMS陀螺仪温度漂移误差补偿模型能够有效地抑制陀螺仪测量误差,补偿后,测量误差可控制在0.05°/s~0.1°/s,具有一定的工程应用价值。
[Abstract]:In order to reduce the influence of temperature on the measurement of MEMS gyroscopes and improve the measurement accuracy of self-made inertial measurement system, the temperature dependent characteristics of the parameters of triaxial MEMS gyroscopes, such as zero bias, proportional factor and installation error, were studied. A three-axis MEMS gyroscope error model with temperature parameters is established. On the basis of the model, the temperature variation experiments in the full temperature range (-20 ~ 60 鈩，

本文编号：2110415