《2013年（第五届）西部光子学学术会议论文集》2013年

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《2013年（第五届）西部光子学学术会议论文集》2013年

相移干涉中相位解包裹算法的分析与比较

刘剑  田爱玲  刘丙才  朱学亮  

【摘要】：高效的相位解包裹算法能有效地提高相移干涉测量的精度。文章从原理和实验结果对绕过残点解包裹算法、棱形种子解包裹算法、最小二乘法解包裹算法及质量图导向法进行了对比分析。对含有随机噪声的包裹相位图进行了仿真实验,结果表明:绕过残点解包裹算法和棱形种子解包裹算法的运行速度最快,最小二乘法解包裹算法次之,质量图导向法的运行速度最慢;绕过残点解包裹算法、棱形种子解包裹算法和质量图导向法具有较高的测量精度,其解包后的相位经Zernike拟合后的面形RMS值可达10-4λ,而最小二乘法解包裹算法受噪声点影响较大,所得面形精度的RMS值为10-2λ。

【作者单位】：
【分类号】：TP391.41
【正文快照】：

相移干涉中相位解包裹算法的分析与比较@刘剑$西安工业大学陕西省薄膜与检测技术重点实验室!陕西省西安市710032 @田爱玲$西安工业大学陕西省薄膜与检测技术重点实验室!陕西省西安市710032 @刘丙才$西安工业大学陕西省薄膜与检测技术重点实验室!陕西省西安市710032 @朱

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