MEMS摆镜在小型化激光成像雷达中的应用

发布时间：2018-11-03 19:49

【摘要】：研究了MEMS摆镜在未来小型化激光成像雷达的系统中的应用。首先介绍了MEMS摆镜自身的器件特性,结合脉冲成像激光雷达的应用背景,分析了系统设计时要注意的问题。进一步设计了MEMS摆镜的驱动模块,通过仿真和成像验证了李萨如扫描图形的应用。
[Abstract]:The application of MEMS pendulum mirror in the system of miniaturized laser imaging radar in the future is studied. Firstly, the characteristics of MEMS pendulum are introduced, and the problems in the system design are analyzed according to the application background of pulsed imaging lidar. Furthermore, the driving module of MEMS pendulum mirror is designed, and the application of Lisaru scanning pattern is verified by simulation and imaging.
【作者单位】： 中国科学院红外探测与成像技术重点实验室中科院上海技术物理研究所;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【分类号】：TN958.98

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本文编号：2308824