针对液晶面板行业固化炉改造与参数监控系统研究

发布时间：2022-06-24 10:39

　　作为一种新兴的高科技产品,薄膜晶体管液晶显示器TFT-LCD（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display）在许多行业都有着广泛的应用。随着人们对液晶面板要求的不断提高,其相关技术也有了一定程度的发展,而目前制约液晶面板发展的重要难题之一就是异物不良现象。基于此,本文针对Oven凝结物的产生机理进行分析,并对相关设备进行了改良,旨在通过创建新型参数监控系统,实现对已改造后的参数进行及时有效的监控,从而达到及时发现异物风险并及时改善的目的。本文首先针对TFT-LCD的发展历程进行了介绍,说明了固化炉控制系统的国内外研究现状及不同方法的优缺点;其次,介绍了 CF段（Color Filter）良率的影响因素及异物的产生机理,确定了 Oven光阻固化炉异物常规监控反馈机制,并选用FDC系统作为固化炉异常原因的分析工具;最后,结合现有的工业大数据概念和实际的生产状况,针对性的提出了一种基于MES（Manufacturing Execution System）技术改造的经济型方案,并设计了监控系统基本的结构和参数监控系统方案的各个模块,主要包括:数据获取模... 

【文章页数】：63 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图１．１中国大陆ＬＣＤ面板生产线基本布局图??Ｆｉｇｕｒｅ?１．１?Ｂａｓｉｃ?Ｌａｙｏｕｔ?ｏｆ?ＬＣＤ?Ｐａｎｅｌ?Ｐｒｏｄ?

图１．２中国主要ＴＦＴ－ＬＣＤ模组生产厂商??Ｆｉｇｕｒｅ?１．２?Ｍａｊｏｒ?ＴＦＴ－ＬＣＤ?Ｍｏｄｕｌｅ?Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅｒｓ?ｉｎ?Ｃｈｉｎａ??５??

图２．１设备结构??Ｆｉｇｕｒｅ２．１?Ｏｖｅｎ?ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ??Ｏｖｅｎ：??

【参考文献】：
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本文编号：3653868