TFT-LCD彩膜不良智能检修及新产线布局探究

发布时间：2024-11-02 15:58

　　 为提高工厂自动化程度,节省人力,对TFT-LCD彩膜缺陷检出和修补智能化进行了研究。通过AOI&Mura检查设备自动判定智能化[6～7],Inline设备自动分片智能化,Repair设备自动修补智能化,三大智能化要素,实现设备自动判定,基板自动分级运营。以此为基础,探究未来新型智能化彩膜生产线设计,通过双通道设计,实现Online模式自动修补缺陷,微观宏观检测一体化,继而达到简化运营流程,异常快速发现,节约设备成本,提高运营效率,释放产能,提高Tact Time,人员优化和良率提升等目的。

【文章页数】：7 页

【部分图文】：

彩膜，即ColorFilter，是为做彩色LCD而在玻璃上有序地涂红、绿、蓝颜色而制作成的基板，如图1所示。彩膜主要分为ADS和TN两种显示模式工艺流程，ADS产品工艺流程为ITO-BM-RED-GREEN-BLUE-OC-PS，如图2所示；TN产品工艺流程为BM-RED-GR....

目前彩膜产线布局如图4所示，以ADS型产品产线为例进行介绍：BM-RED-GREEN-BLUE-OC-PS产线，称之为Inline；为了提高产品品质，每条产线均设置微观检查[1]设备AOI以及宏观检查[2]设备Mura机，进行当线工艺结束后的品质检查[3]；完成BM工艺后会到Of....

图2ADS产品工艺流程2彩膜缺陷检出、修补和判定智能化实现

1）原AOI运营模式：彩膜AOI负责彩膜基板微观缺陷的检查，根据检查类型及面积对缺陷进行判定S、M、L、O四个等级，根据检测CCD不同分为RB、TB、RW、TW四种类型；缺陷等级与类型组合如图5所示。2）问题点：彩膜AOI检出缺陷后，将缺陷的坐标、Size、类型等信息以文件的形式....

本文编号：4009763