基于光栅干涉仪的超精密位移定位测量新方法

发布时间：2018-04-26 10:06

  本文选题：光栅干涉仪 + 位移测量　； 参考：《组合机床与自动化加工技术》2016年12期

【摘要】：对进一步提高光栅干涉仪定位检测系统的定位精度和位移检测分辨率进行了研究,分析了检测视场中干涉条纹的不同测量位置对定位系统的影响,提出了一种利用干涉相移进行超精密位移检测的新方法,在传统的光栅干涉仪系统中加入相位扫描机构,使光电传感器在检测视场中的两个干涉条纹间进行移动,从而改变了光栅干涉仪的接收相位,理论上可以达到纳米、亚纳米等更高精度的检测。精密定位检测实验表明,采用该检测定位方法可以提高定位精度16%以上。
[Abstract]:In this paper, the effect of different measuring positions of interference fringes in the field of view on the positioning system is analyzed by further improving the positioning accuracy and displacement detection resolution of the grating interferometer location detection system. A new method of ultra-precision displacement detection using interferometric phase shift is proposed. The phase scanning mechanism is added to the traditional grating interferometer system to make the photoelectric sensor move between two interference fringes in the detection field of view. Thus, the receiving phase of grating interferometer is changed, and more accurate detection can be achieved in theory, such as nanometers and subnanometers. The precision positioning test results show that the precision of this method can be improved by more than 16%.
【作者单位】： 上海交通大学机械与动力工程学院;
【基金】：国家自然科学基金面上项目(51275306)
【分类号】：TH744.3

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本文编号：1805567