光刻物镜主动变形镜像差补偿分析

发布时间：2018-04-26 21:10

  本文选题：成像系统 + 主动光学　； 参考：《激光与光电子学进展》2015年07期

【摘要】：为补偿光刻物镜由不均匀照明引入的Z5像散,设计了一种主动变形镜,并分析该主动变形镜的像散补偿性能。利用有限元分析方法,建立主动变形镜的有限元模型,得到主动变形镜调节能力、刚体位移误差、固有频率及最大应力等性能。结果表明,主动变形镜在50 N驱动力作用下可以实现镜片表面面形均方根(RMS)837 nm Z5像散补偿,伴随产生的镜片表面高阶像差仅为RMS 1.124 nm,三个方向刚体平移仅为0.49、0.52、0.13 nm,三个方向的刚体旋转仅为2.21、1.73、1.10 ms,主动变形镜一阶固有频率达到2555 Hz,最大应力为0.852 MPa,满足光刻物镜像散补偿需求。
[Abstract]:An active deformable mirror is designed to compensate for the astigmatic compensation performance of an active deformable mirror . The results show that the active deformation mirror can realize the surface - shape root mean square ( RMS ) 837 nm Z5 astigmatism compensation of the lens surface under the action of 50 N driving force . The results show that the active deformation mirror can realize the lens surface - shape root mean square root ( RMS ) 837 nm Z5 astigmatism compensation only . The three - direction rigid body rotation is only 2.21 , 1.73 , 1.10 ms , the first - order natural frequency of the active deformation mirror is 2555 Hz , the maximum stress is 0.852 MPa , and the astigmatic compensation requirement of the lithography objective lens is satisfied .

【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【基金】：国家重大专项02专项(2009ZX02205)
【分类号】：TH74

【参考文献】

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本文编号：1807686