大口径凸非球面面形检测方法研究

发布时间：2018-06-12 12:19

本文选题：测量 + 光学测量　；参考：《中国激光》2014年04期

【摘要】：提出了在非球面检验中以反射镜补偿法线像差的方法,用于大口径凸非球面透镜的检测,克服了在检测大口径非球面透镜时一般需要采用多片透镜补偿的困难,降低了设计难度和装调难度,节约了加工成本。设计并研制了大口径凸非球面透镜检测系统,对误差来源进行了分析并给出消除方法。对直径Φ270mm的凸非球面透镜进行检测,测得的非球面面形误差峰谷(PV)值与均方根(RMS)值分别为0.585λ和0.083λ。该方法为大口径非球面透镜检测提供了技术参考,能够适用于大口径透镜粗抛光阶段中的面形检测。
[Abstract]:In this paper, a method of compensating normal aberration with reflector in aspheric surface inspection is proposed, which is used to detect large aperture convex aspherical lens. It overcomes the difficulty of multi-lens compensation in detecting large aperture aspherical lens. The design difficulty and installation difficulty are reduced, and the processing cost is saved. A large aperture convex aspheric lens detection system is designed and developed. The error source is analyzed and the elimination method is given. The convex aspherical lens with diameter 桅 270mm is tested. The measured values of aspheric surface error peak and valley are 0.585 位 and 0.083 位, respectively, and the RMS values of RMS are 0.585 位 and 0.083 位, respectively. This method provides a technical reference for the detection of large aperture aspherical lens and can be applied to the detection of surface shape in rough polishing stage of large aperture lens.
【作者单位】：中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室;中国科学院大学;
【基金】：国家国际科技合作专项(2011DFR10010) 国家科技重大专项(2011ZX02402)
【分类号】：TH74

【参考文献】

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【共引文献】

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