基于电流体喷印的微透镜阵列制备工艺研究

发布时间：2021-11-04 17:50

　　微透镜及微透镜阵列在众多的工程应用中有着重要的应用价值和广阔前景,然而,目前的制备工艺步骤较为复杂,且加工设备昂贵。因此如何低成本、高效便捷地制作微透镜阵列仍然是目前关注的重点。本文利用电流体喷印技术,以甘油水溶液为喷射材料制作微透镜阵列阳模,并以此为基础制备了微透镜阵列,主要工作如下:首先,对国内外微透镜阵列的制作工艺和电喷印技术的现状进行了论述,介绍了目前常用的微透镜阵列制作技术,阐述了电喷印技术的特点和发展现状,提出了基于电喷印制作微透镜阵列的工艺新方法,并对本文的各个章节所研究的部分进行简要叙述。其次,研究了电喷印的特性和基础理论,分析高压脉冲下电喷印的喷印规律,推导了脉冲电压和偏压对喷射的影响,为电喷印微滴阵列提供了理论依据。选取甘油水溶液为电喷印材料,搭建了一套电喷印实验平台,用以制作甘油微滴阵列阳模,并提出了制作甘油微滴阵列的实验方案和步骤。然后,通过实验研究了电喷印工艺参数对甘油水溶液喷射稳定性的影响,确定了电喷印的工艺范围;针对电喷印中喷头处液滴不稳定情况,提出了利用计算机视觉检测喷头处液滴的状态,优化电喷印工艺。对电压大小、脉冲频率、喷头内径和喷头到收集板之间的距离... 

【文章来源】：广东工业大学广东省

【文章页数】：79 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

光刻热熔法步骤示意图

图 1-2 电喷印原理图Figure 1-2 Schematic diagram of electro-printing的多物理场的综合作用过程[38]，锥射流的形成、飞分辨率和定位精度有重要影响，喷印效果主要受喷性等的综合影响。电喷印的主要方式为：在喷嘴和

图 1-3 电喷印和自组装技术结合制造的微纳米结构[50]-3 Micro-nanostructures fabricated by electro-printing and self-assembly techniqu51]等人的研究结果还表明，电喷印在柔性电子领域也有重要的应用的利用电喷印工艺喷印不同材料，用于微光学器件的制造，例如微透镜等，如图 1-4 所示。

【参考文献】：
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本文编号：3476202