基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器
本文选题：直线位移传感器 + 齿槽 ； 参考：《仪器仪表学报》2017年01期
【摘要】：针对现有磁场式直线时栅位移传感器行波磁场产生过程中,齿槽的存在影响行波磁场的匀速性,提出基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器。无齿槽的结构形式提高了行波磁场的匀速性,可实现大极距下的高精度测量。传感器将施加正交信号的两相励磁线圈相间排列形成平面线圈线阵,产生的行波磁场通过磁场拾取线圈感应出电行波信号,处理后得到位移量。通过电磁场分析软件对传感器进行建模仿真,根据仿真结果得到测量误差;通过理论分析对测量误差进行分析溯源,并根据分析结果对传感器结构进行优化。基于分析和优化结果研制出传感器样机,并进行了精度实验。实验表明,传感器在240 mm内测量精度为±1μm,实现了精密测量。
[Abstract]:A linear time-grating displacement sensor based on planar coil linear array is proposed in view of the influence of tooth slot on the uniformity of traveling wave magnetic field in the process of generation of traveling wave magnetic field. The structure without tooth groove improves the uniformity of traveling wave magnetic field and can realize high precision measurement under large polar distance. The sensor arranges the two phase excitation coils with orthogonal signal to form a planar coil linear array, and the generated traveling wave magnetic field induces the electric traveling wave signal through the magnetic field pickup coil, and the displacement is obtained after processing. The sensor is modeled and simulated by the electromagnetic field analysis software, and the measurement error is obtained according to the simulation results. The measurement error is analyzed and traced through the theoretical analysis, and the sensor structure is optimized according to the analysis results. Based on the analysis and optimization results, the sensor prototype is developed, and the precision experiment is carried out. The experimental results show that the precision of the sensor is 卤1 渭 m in 240 mm.
【作者单位】： 重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心;
【基金】：国家自然科学基金(51405049,51505052) 重庆市科技研发基地能力提升计划(cstc2014pt-sy40002)项目资助
【分类号】：TP212
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，本文编号：2033067
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