基于MCM-41的高灵敏度和高稳定性的QCM湿度传感器研制

发布时间：2018-12-15 05:56

【摘要】：利用介孔材料MCM-41作为石英晶体微天平(Quartz Crystal Micro-Balance,QCM)质量型传感器的湿敏材料来构建湿度传感器。采用X-ray、SEM、BET等对样品的结构和形貌进行了表征和分析,并系统研究了其湿敏性能。结果表明,该湿度传感器具有湿度量程大(1%～100%RH)、灵敏度高、稳定性好、湿滞小、易于集成化等优点。
[Abstract]:The humidity sensor was constructed by using mesoporous material MCM-41 as humidity sensitive material of quartz crystal microbalance (Quartz Crystal Micro-Balance,QCM mass sensor. The structure and morphology of the samples were characterized and analyzed by X-rayne SEM BET et al. The humidity sensitivity of the samples was systematically studied. The results show that the humidity sensor has the advantages of large humidity range (1%~100%RH), high sensitivity, good stability, small humidity lag and easy integration.
【作者单位】： 上海第二工业大学环境与材料工程学院;上海巨浪环保科技发展有限公司;
【基金】：国家自然科学基金项目(No.51678353) 上海市自然科学基金项目(No.15ZR1416800) 浦东新区科技发展基金(No.PKJ2015-C07&PKJ2015-C14) 上海第二工业大学培育学科(No.XXKPY1601)资助
【分类号】：TP212

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