一种高灵敏度无线压力传感器的研究

发布时间：2019-01-01 10:39

【摘要】：为解决压力传感器在密闭空间、高旋、生物体内等不适用引线的问题,设计了一种无线压力传感器。对传感器进行原理分析及结构设计,采用MEMS工艺对硅片及BF33进行加工,并搭建了谐振频率-压力测试平台,对传感器性能进行测试。压力测试范围为5~105 k Pa,在常温时的灵敏度为161.5 Hz/Pa,传感器具有较高的灵敏度,有利于提高压力检测精度。
[Abstract]:A wireless pressure sensor is designed to solve the problem that the pressure sensor is not suitable for the lead in the closed space, the high rotation and the biological body. The principle analysis and structure design of the sensor are carried out, the silicon wafer and BF33 are processed by MEMS process, and the resonant frequency-pressure test platform is built to test the performance of the sensor. The sensitivity of 161.5 Hz/Pa, sensor at room temperature is higher than that of the pressure measurement range of 5 ~ 105k Pa, which is helpful to improve the accuracy of pressure detection.
【作者单位】： 厦门大学机电工程系;厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究所;
【基金】：航空科学基金资助项目(20160868004,20160868005)
【分类号】：TP212

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