F-P腔式光纤MEMS压力传感器的设计

发布时间：2019-09-23 17:13

【摘要】：提出了一种新型结构的法布里-珀罗(F-P)腔光纤压力传感器。该传感器基于法布里-珀罗多光束干涉,利用压力敏感膜的纵向挠度变化带动位移柱的横向位移运动来改变F-P腔的腔长变化。详细阐述了传感器新结构的设计方法及其工作原理,分析了不同参数对传感器性能的影响。采用ANSYS软件仿真模拟了传感器压力敏感膜在压力作用下的挠度变化。结合现有的MEMS工艺,可制作出工艺简单、温度系数低、灵敏度高,且抗电磁干扰的MEMS光纤压力传感器。
【作者单位】： 南京信息工程大学江苏省大气环境与装备技术协同创新中心;南京信息工程大学江苏省气象探测与信息处理重点实验室;南京信息工程大学电子与信息工程学院;
【基金】：国家自然科学基金项目(61307061) 江苏高校优势学科Ⅱ期建设工程项目
【分类号】：TP212

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本文编号：2540386