大气压微波等离子体炬工作平台控制系统的设计与实现

发布时间：2021-08-06 11:53

　　大气压微波等离子体炬由于在常压下能够维持稳定放电,且有较高的电离度和电子密度,使其在工业领域具有很大的应用前景。但是由于大气压微波等离子体炬放电时会产生噪音,在某些情况下会产生有毒气体,并存在着电磁辐射泄露的危险,类似因素导致的恶劣工作环境极大的影响了操作者的身体健康。此外,由于大气压微波等离子体炬系统的功能模块较多,模块间的协同操作比较繁琐,这不仅会在使用时出现误操作的可能性增加,也会使其与其它系统对接构成更大的系统来协调工作的难度增加,从而在一定程度上限制了其应用发展。为此在我们实验室自主设计出的一套大气压微波等离子体设备（APPLAS-MPT3I）的基础上,为这套设备设计制造了基于LabVIEW的控制系统。该系统在考虑以往的操作习惯的前提下,将各模块间的功能合理的集成,使得操作更加安全、方便。同时由于其运行稳定性能优良及结构合理等多方面优势,对大气压微波等离子体炬在工业上的应用拓展,有着一定的促进意义。该系统采用模块化的结构,分别是微波源控制模块、等离子体炬发生装置控制模块、气体流量控制模块及图像采集模块。各个子模块之间互相独立协调配合。等离子体炬控制模块主要由串口继电器及供电电... 

【文章来源】：大连理工大学辽宁省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：60 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
摘要
abstract
1 绪论
    1.1 大气压等离子体概述
        1.1.1 等离子体的基本概念与分类
        1.1.2 大气压等离子体发生装置及应用
    1.2 等离子体装置控制系统发展概述
    1.3 本文研究背景及内容
        1.3.1 研究背景
        1.3.2 研究内容
2 大气压微波等离子体炬工作平台
    2.1 微波能量的产生
    2.2 微波能量的传输、阻抗匹配及等离子体激励
    2.3 大气压微波等离子体炬的气流量控制
3 大气压微波等离子体炬控制系统的设计
    3.1 总体方案
    3.2 LabVIEW与仪器控制
    3.3 系统功能模块
        3.3.1 等离子体炬发生装置控制模块
        3.3.2 质量流量控制器模块
        3.3.3 微波功率源控制模块
        3.3.4 图像采集模块
        3.3.5 控制系统前面板
4 微波等离子体炬控制系统的实现及其在CO_2放电研究中的应用
    4.1 微波等离子体炬控制系统的实现
    4.2 利用大气压微波等离子体炬产生CO_2等离子体放电的研究
        4.2.1 大气压微波CO_2等离子体炬放电形态的特性分析
        4.2.2 大气压微波CO_2等离子体炬发射光谱的初步诊断
    4.3 后续工作
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢



本文编号：3325728