薄膜样片厚度均匀性测量系统研究

发布时间：2024-07-05 06:12

　　薄膜产品的厚度及其厚度均匀性是影响产品质量的重要因素之一。近年来,薄膜厚度测量的方法研究和工程实现越来越成熟,但是对薄膜样本厚度均匀性测量研究较少。有鉴于此,本文对薄膜样片厚度均匀性测量系统进行研究。本文首先对薄膜样片厚度均匀性测量系统的需求进行了分析,提出了采用差分激光反射式测量方法,以PLC为核心控制单元的测量系统整体设计方案。文中对振动产生的测量误差通过预实验方法进行了分析,设计了数字滤波算法并通过分析验证了算法的处理效果,同时对薄膜褶皱条件下测厚数据补偿方案进行了研究。根据系统功能的设计要求,设计了测厚实验台机械结构和控制系统。本文设计了系统工作的PLC程序,通过脉冲输出进行电机运动控制,采用连续握手方式采集了传感器数据并进行处理,使用高速计数器将传感器数据与二维平面坐标进行匹配,实现了自校模式和测量模式的工作流程,设计了上位机与下位机之间的通信协议并实现了串口通信。本文基于Labview设计了系统上位机软件,通过串口指令发送实现了参数配置和业务流程,对串口数据进行接收和解析,明确了系统当前的工作状态,并绘制了薄膜厚度均匀性三维图像,使用文件管理函数实现了数据和图像的保存功能,...

【文章页数】：71 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图2-1激光三角法测量原理图

图2-1激光三角法测量原理图用激光三角法测量位移信息[31]。法应用于近距离高精度位移测量低。激光发射器垂直入射到待测CCD相机上[32,33]。根据反射光的聚焦点也不同。检测反射光线聚标准位置入射光线的三角函数关数据。

图2-2激光传感器差分测量示意图

图2-1激光三角法测量原理图激光三角法测量位移信息[31应用于近距离高精度位移测量。激光发射器垂直入射到待CCD相机上[32,33]。根据反射聚焦点也不同。检测反射光线准位置入射光线的三角函数据。

图4-1测厚实验台机械结构图

第4章测厚实验台硬件设计4.1引言本章设计测厚实验台硬件系统。本章根据测厚实验台设计要求，设计测厚实验台机械结构。为了实现测厚实验台的功能，本章还将设计测厚实验台的控制系统。4.2测厚实验台机械结构设计根据系统总体设计要求，结合振动误差分析预实验的结论，设计测厚实验台机....

图4-2激光位移传感器探测头

在两个导轨方向上的位置。机身侧面有刻平台比实验测试的运动机构要更加精密，传感器和扫描架结构的扫描架固定在双轴运动平台上，扫描架运动。考虑到设备的应用特点和使用环境描架设计方案。C型扫描架采用两根截面尺抗弯能力强。为了防止运动振动影响测量便的设计来固定传感器。光位移传感器探测头固....

本文编号：4001161