MEMS压力传感器电容读出电路

发布时间：2017-06-26 04:22

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【摘要】：提出了新的一种用于MEMS压力传感器的电容数字转换方法.与传统的将电容值转换成电压值的方法不同,该方法是将微弱电容信号转换为时间间隔,然后通过计数器量化、数字滤波器处理,得到高精度、宽输入范围的电容读出电路.这种方法下的电路结构简单,受供电电压影响较小,具有很高的线性度.在cadence环境下,基于TSMC标准的BCD0.25μmCMOS工艺模型,对电路进行设计和仿真.该电路输入范围可达8pF,分辨率为4fF.
【作者单位】： 电子科技大学电子工程学院;
【关键词】： MEMS压力传感器 高精度 电容数字转换器 仿真
【分类号】：TP212
【正文快照】： 1引言基于MEMS技术的压力传感器是广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流速、液位、压强的测量与控制的重要感知器件[1].MEMS压力传感器工作原理是通过检测电量的改变以检测外界物理量的变化[2].压阻式MEMS压力传感器、电容式MEMS压力传感器是两种通用的压力传感器.电阻

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