翘曲状态下硅微悬臂梁固有频率的变化规律

发布时间：2017-08-06 09:04

  本文关键词：翘曲状态下硅微悬臂梁固有频率的变化规律

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【摘要】：为了研究微悬臂梁的翘曲状态对其固有频率的影响,使用有限元分析的方法对小长宽比和大长宽比两种结构尺寸的硅微悬臂梁在不同曲率半径下的前五阶模态固有频率进行了仿真分析.结果表明,翘曲对小长宽比硅微悬臂梁固有频率的影响很小;而对于大长宽比的硅微悬臂梁,当曲率半径为1 mm时,其第1阶,第2阶,第3阶,第5阶模态固有频率的变化率分别为1%,26%,40%和15.8%,当曲率半径为3 mm时,其第4阶模态固有频率变化率为13.7%,可见翘曲对大长宽比硅微悬臂梁固有频率的1阶模态固有频率的影响很小,而对第2、第3、第4和第5阶模态固有频率的影响则十分明显.
【作者单位】： 渤海大学大学基础教研部;渤海大学工学院;
【关键词】： 微悬臂梁 翘曲 固有频率 有限元分析 曲率半径
【基金】：国家自然科学基金项目(No:51305191) 辽宁省教育厅一般项目(No:L2015009)
【分类号】：TP212;TH-39
【正文快照】： 0引言微悬臂梁是微机电系统中最常见,同时也是最重要的典型微结构之一〔1-5〕.在很多MEMS微传感器中,微悬臂梁或具备微悬梁特征的微结构是作为核心功能结构而存在的,并在很大程度上影响这些器件的使用性能.这些具备传感功能的微悬臂梁在工作方式上可以分为两大类,一类是静态工

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本文编号：629178