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171. 针对工艺偏差的MEMS器件结构参数优化设计

172. 面向MEMS红外光源的辐射增强结构设计

173. 基于MEMS的电磁激励谐振传感器研究

174. MEMS惯导系统的误差自修正技术研究

175. MEMS可重构带通滤波器设计

176. 基于MEMS组件的行人导航系统关键技术研究

177. 基于电容式MEMS器件的静电斥力驱动研究

178. MEMS微镜扫描激光雷达发射光学系统设计

179. 基于FPGA的MEMS航姿测量系统设计

180. MEMS微机械结构受冲击力学分析

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