为您找到约47篇文章，耗时0.0157秒，数据库总量为384,599,568篇。

11. PECVD制备氢化硅氧薄膜及其光电特性研究

12. 非晶硅锗薄膜PECVD法制备与特性研究

13. PECVD法制备非晶硅薄膜及光电性质研究

14. 富硅—氮化硅薄膜的PECVD制备及其退火处理研究

15. PECVD系统淀积氮化硅工艺优化的实现

16. 基于流—热—固多场耦合分析的PECVD装置优化设计

17. PECVD氮化硅薄膜性能研究及热学测试结构设计

18. 廉价衬底上PECVD法制备非晶硅薄膜的工艺研究

19. 非晶硅薄膜晶体管PECVD成膜工艺的优化研究

20. PECVD技术在微结构表面沉积薄膜的复形性

相关搜索:

1064nm pecvd

中英文论文下载