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265. 基于MEMS矢量水听器阵列的测向技术研究

266. MEMS陀螺仪随机漂移误差补偿技术的研究

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268. 参数激励法提高MEMS环式陀螺性能的研究

269. 热失配对MEMS上层芯片变形的影响和测量

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