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263. 硅基自屏蔽式MEMS带通滤波器

264. 基于MEMS矢量水听器阵列的测向技术研究

265. MEMS陀螺仪随机漂移误差补偿技术的研究

266. MEMS捷联惯导减振系统设计方法研究

267. 参数激励法提高MEMS环式陀螺性能的研究

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269. 飞法级MEMS电容型传感器读出技术研究

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