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312. 基于MEMS微屏蔽传输线的移相器研究

313. 高精度MEMS加速度计中欧姆接触工艺研究

314. 串联电容对MEMS扭转微镜吸合角的影响

315. 新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计

316. 基于MEMS的固体燃料微推进技术研究进展

317. 基于MEMS惯性传感器的人体多运动模式识别

318. 一种新型MEMS开关微驱动器研究与仿真

319. 非硅MEMS器件微装配系统的动静态特性分析

320. 用于细胞导入的MEMS聚焦超声波器件的研究

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