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311. 基于MEMS微屏蔽传输线的移相器研究

312. 高精度MEMS加速度计中欧姆接触工艺研究

313. 串联电容对MEMS扭转微镜吸合角的影响

314. 新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计

315. 基于MEMS的固体燃料微推进技术研究进展

316. 基于MEMS惯性传感器的人体多运动模式识别

317. 一种新型MEMS开关微驱动器研究与仿真

318. 非硅MEMS器件微装配系统的动静态特性分析

319. 用于细胞导入的MEMS聚焦超声波器件的研究

320. 基于MEMS技术的柔性多触点深部脑刺激电极研制

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