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501. MEMS微驱动器的设计、工艺及应用

502. 高精度石英全息透镜的MEMS工艺制作

503. 三轴数字MEMS加速度计现场标定方法

504. MEMS射频同轴线的仿真与工艺研究

505. MEMS角振动陀螺的结构建模与仿真分析

506. MEMS惯组抗高g值冲击设计方法

507. MEMS压阻式压力传感器技术研究

508. 用于三维成像激光雷达的MEMS扫描镜研究

509. 微热板气体传感器的MEMS工艺研究

510. 基于智能手机MEMS的行人定位方法实证研究

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