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521. MEMS振荡器的温度补偿和低噪声频率合成特性

522. 电磁式MEMS扭转微镜的建模与闭环控制研究

523. 基于MEMS与智能手机电子罗盘的室内定位与导航算法研究

524. 基于Parylene封装的“棒棒糖式”MEMS矢量水听器

525. 冲击载荷下MEMS微加速度计的结构可靠性研究

526. MEMS惯导在旋翼飞行器中导航性能的实验分析

527. Kionix公司推出消耗电流减半的6轴MEMS传感器

528. 基于MEMS惯性传感器的人体姿态检测系统的研究

529. MEMS用硅单晶缺陷对各向异性腐蚀的影响

530. CEEMD阈值滤波在MEMS陀螺信号消噪中的应用

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