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71. PECVD法制备非晶硅薄膜及光电性质研究

72. 富硅—氮化硅薄膜的PECVD制备及其退火处理研究

73. PECVD系统淀积氮化硅工艺优化的实现

74. 基于流—热—固多场耦合分析的PECVD装置优化设计

75. PECVD氮化硅薄膜性能研究及热学测试结构设计

76. 廉价衬底上PECVD法制备非晶硅薄膜的工艺研究

77. 非晶硅薄膜晶体管PECVD成膜工艺的优化研究

78. PECVD技术在微结构表面沉积薄膜的复形性

79. 氮气对PECVD制备氮化硅薄膜结构与性质的影响

80. 基于VxWorks嵌入式PECVD设备系统的设计与实现