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71. MEMS器件工艺特性及其性能测试的研究

72. 基于MEMS微型发动机的装药选择

73. MEMS涂层接触问题的有限元分析

74. 基于自适应滤波的MEMS姿态确定方法

75. MEMS陀螺旋转导航误差的分析与仿真

76. W波段MEMS腔体滤波器

77. MEMS器件分层失效的强化试验技术研究

78. 差分型MEMS矢量水听器的研制

79. MEMS加速度计开环检测电路的设计

80. MEMS微摩擦磨损仪器的研究进展