基于蚕丝蛋白的水刻技术研究
【学位授予单位】:上海师范大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2019
【分类号】:TQ93
【图文】:
图 1-2 单频段超材料太赫兹阵列探测器 SEM 图,作为集成电路芯片技术在生物领域的延伸与推广,其展相辅相成,是微纳加工技术应用的又一重要领域[15-1可分为两大类:微点阵芯片与微流体芯片。其中,微流
图 1-4 微流控芯片实物图与细胞培养单元实,微纳加工的应用绝不仅限于上文中所介绍的领域,其在纳米电子磁存储领域、微机电系统领域等均扮演着重要的角色。在实际工艺过种微纳器件的制造都不是单一使用某一加工技术来完成的,而是多种
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