硅MEMS加速度计数据采集与分析系统的研发

发布时间：2017-12-20 02:20

  本文关键词：硅MEMS加速度计数据采集与分析系统的研发　出处：《西南科技大学》2017年硕士论文　论文类型：学位论文

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【摘要】：硅MEMS加速度计因高性能,低功耗等优点成为当今国内外研究的热点。硅MEMS加速度计的广泛使用也带来了其各项性能评价的问题。本文结合某研究所制定的硅MEMS加速度计设计出了一套高精度的采集测量系统。论文介绍了加速度计测试系统的整体设计方案,同时介绍了硬件的选择、软件模块的设计和流程图设计。数据采集软件系统主要由MFC(微软基础类库)和ACCESS数据库设计完成,本文对加速度计的多项性能指标进行了研究,其中包括1g稳定性,偏值,偏值稳定性和重复性,标度因数,标度因数重复性和稳定性,偏值温度灵敏度,标度因数温度灵敏度,偏值温度不对称性等。同时说明了加速度计的性能指标改进后详细的测试方法。利用高精度数据采集卡完成待测加速度计的各项指标数据采集,在数据分析中,利用斜率优化算法,最小二乘法和移动平均法等将采集到的数据进行优化,加速度计部分指标测试精度得到了改善。通过分析与实验,利用该测量系统可以测量出给出的待测硅MEMS加速度计的各项指标。通过计算可知,100 g加速度计的标度因数为21.5 mv/g,标度因数稳定性为1211 ppm,比传统的两点法提高了80%,标度因数重复性为1365 ppm,比传统方法提高了85%,标度因数温度灵敏度为3832.75 ppm/0C,偏值为0.165766 g,偏值稳定性为6.608970 mg,稳定性比传统方法提高了一个量级,偏值重复性为2.086562 mg,偏值温度灵敏度为105 Cg0?/,不对称性为11.8 mg,1 g稳定性为6.76mg。
【学位授予单位】：西南科技大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2017
【分类号】：TP274.2;TH824.4

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本文编号：1310392