面向压电纳米结构的同轴聚焦电流体喷射打印机理及工艺研究

发布时间：2021-10-10 15:52

　　纳米器件具有灵敏度高、选择性强、功耗低等特点,在电子信息、生物医疗、环境能源等领域具有广阔应用前景。纳米尺度结构是纳米器件的基础,是实现纳米器件高性能的关键。目前,纳米尺度结构的制造过程普遍需要借助昂贵的聚焦离子束、电子束曝光、纳米压印等设备和多层套刻、结构转移等复杂工艺步骤,其工艺流程复杂、效率低、成本高,阻碍了纳米器件的广泛应用。本文基于电流体动力理论和多物理场复合作用,研究了电场-流体复合约束的同轴电流体射流机理,提出了同轴聚焦电流体喷射纳米打印方法,针对典型压电功能材料,实现了纳米尺度线形结构的高性能和高效率打印制造。研究内容主要包括如下五部分:（1）研究了同轴电流体射流的聚焦作用机理,建立了同轴电流体锥-射流模式形成过程的数值仿真模型,探明了纳米尺度射流的形成机制。通过分析电流体射流四阶对称方程,建立了同轴电流体射流直径标度率关系式,探究了同轴聚焦约束机制。基于三相流多物理场复合,建立了电场力叠加流体动量的数学方程,仿真分析了电场作用下溶液中电荷的产生和运动行为,探明了同轴锥-射流模式形成及演变规律,揭示了关键工艺参数对同轴射流的作用机理,获得了稳定同轴电流体射流形成的最佳参... 

【文章来源】：大连理工大学辽宁省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：152 页

【学位级别】：博士

【部分图文】：

图１．２纳米发电机与医用自供电设备??Ｆｉｇ．?１．２?Ｎａｎｏｇｅｎｅｒａｔｏｒ?ａｎｄ?ｍｅｄｉｃａｌ?ｓｅｌｆ－ｐｏｗｅｒ?ｓｕｐｐｌｙ?ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ＾２８１??

图１．３柔性电子器件与纳米发光量子点Ｉ％??Ｆｉｇ．?１．３?Ｆｌｅｘｉｂｌｅ?ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ?ｄｅｖｉｃｅｓ?ａｎｄ?ｎａｎｏ?ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ?ｑｕａｎｔｕｍ?ｄｏｔｓＰ（｜ｌ??

图１．６电喷雾原理和不同模式示意图??Ｆｉｇ．?１．６?Ｓｃｈｅｍａｔｉｃ?ｄｉａｇｒａｍ?ｏｆ?ｅｌｅｃｔｒｏｓｐｒａｙ?ｐｒｉｎｃｉｐｌｅ?ａｎｄ?ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ?ｍｏｄｅｓ＊６４１??

【参考文献】：
硕士论文
[1]微/纳机电谐振器特性研究[D]. 梁秋芳.浙江大学 2007



本文编号：3428683