阴极弧沉积含氮二氧化钛薄膜对成骨细胞生物活性影响的实验研究
【图文】:
图 1 纯钛组(A)、二氧化钛组(B)、含氮二氧化钛组(C)样品表面形貌扫描电镜结果(Bar=20μm由扫面电镜结果(图 1)可知,纯钛组样品表面略有些小沟,可能与样品碳化硅抛光有关,体上较为光滑;二氧化钛组及含氮二氧化钛组样品表面形貌相似,有少量点状凹陷;说明采极弧等离子体沉积技术未明显改变钛基体的表面形貌。、样品表面元素分析
图 2 二氧化钛组及含氮二氧化钛薄膜组 XPS 全谱图(A);含氮二氧化钛薄膜表面 Ti2p、N1s、O1s 的高分辨谱(B);N 元素高分辨曲线拟合图(C)图 2 显示了二氧化钛及二氧化钛薄膜表面的元素组成 X 射线光电子能谱的结果。由图 2可知,两组样品表面元素组成基本一致,主要的特征峰有 Ti3p、C1s、Ti2p 及 O1s,其结合能分别为 37eV、285eV、459eV 及 531eV。样品表面的 C1s 主要是由于丙酮、乙醇等有机溶剂清洗及吸附空气 CO2所致。仔细观察二氧化钛薄膜 XPS 全谱图,可以发现在结合能大约 400 eV 处有个弱峰,即为 N1s 的特征峰。说明阴极弧沉积技术成功制备了含氮的二氧化钛薄膜。图 2B 为含氮二氧化钛薄膜表面 Ti2p、N1s、O1s 的高分辨谱。其中 Ti2p 能级的高分辨扫描图,在 459.15 和464.9eV 有两个拟合峰,其分别对应于 Ti2p1/2 及 Ti2p3/2 轨道同 O1s 轨道形成 Ti-O 化学键的结合能。图 2B 中 O1s 能级的高分辨图中只有一个特征峰,其结合能为 530.6eV,其对应于 O1s 轨道与 Ti2p 轨道形成的 Ti-O 键的结合能。由 XPS 结果中 Ti 及 O 的轨道结合能可以确定,含氮二氧化钛薄膜表面 Ti2p 及 O1s 的化合态分别为 Ti4+及 O2-,从而可以进一步确定二氧化钛的存在。图 2C 为对 N1s 能级进行 Gaussian 拟合,分别于 396.82、400.32、402.18eV 三处出现特征峰位。
【学位授予单位】:苏州大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2014
【分类号】:R318.1
【共引文献】
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本文编号:2578022
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