TFT-LCD制造业光刻岗位有害气体扩散与控制研究

发布时间：2022-08-23 10:45

　　近年来,随着我国在电子制造相关行业取得一系列重大技术突破,中国已成为世界上最大的液晶显示器生产基地。与此同时在薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）制造行业中,也暴露出了很多新的职业健康问题,尤其是光刻岗位大量使用的有机物问题。某些有机物的主要成分国家没有规定其职业接触限值,没有相关的职业卫生检测方法,甚至有关毒性研究也比较少。工厂异味四处弥漫,严重影响了员工的身心健康。因此对薄膜晶体管液晶显示器制造行业有害气体扩散研究是很有必要的。本文采用数值模拟法对TFT-LCD制造业光刻岗位有机气体扩散规律、通风系统的通风效果及优化指标展开研究,以国内某著名薄膜液晶显示器制造厂为研究对象,采用Fluent软件建立三维几何模型,对不同排风量、排风口面积等设置条件下的通风效果进行了数值模拟研究,分析了丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）扩散的速度场和浓度场分布规律,研究结果如下:（1）在未设计排风系统时,密闭罩外部z=0m断面（地面）丙二醇甲醚醋酸酯主要聚集在0

【文章页数】：66 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
摘要
Abstract
1 绪论
    1.1 研究背景及意义
    1.2 国内外研究现状
    1.3 研究内容
    1.4 研究技术路线
2 TFT-LCD制造企业概述及模拟对象的选择
    2.1 TFT-LCD制造企业概述
        2.1.1 生产车间介绍
        2.1.2 生产工艺介绍
    2.2 模拟对象选择
        2.2.1 列阵车间的光刻工艺
        2.2.2 散逸物质的选择
3 光刻岗位有害气体检测及分布规律研究
    3.1 采样点的选择
    3.2 实验室方法测定光刻岗位丙二醇甲醚醋酸酯浓度
        3.2.1 实验方案
        3.2.2 丙二醇甲醚醋酸酯浓度结果分析
4 光刻岗位有害气体扩散的数值模拟基础
    4.1 流体力学基础
        4.1.1 求解控制方程
        4.1.2 控制方程的求解方法
    4.2 CFD软件简介
    4.3 TFT-LCD车间光刻岗位的几何模型
        4.3.1 几何模型的建立
        4.3.2 网格的划分
        4.3.3 边界条件的设置
5 基于FIUENT的有害气体扩散规律与方案优化
    5.1 基本模型模拟结果
        5.1.1 气流速度场分析
        5.1.2 PGMEA浓度场分析
        5.1.3 模拟结果与现场对比
    5.2 影响PGMEA扩散规律的因素与方案优化
        5.2.1 排风口面积对PGMEA扩散规律的影响与优化
        5.2.2 排风风量对PGMEA扩散规律的影响与优化
结论
展望
参考文献
攻读硕士期间取得的研究成果
致谢


【参考文献】：
期刊论文
[1]中国GBZ2.1与德国MAK工作场所化学有害因素职业接触限值比较研究[J]. 李祈,张敏.  中国安全生产科学技术. 2017(04)
[2]煤田火区有害气体排放的环境影响评估方法研究[J]. 陈晓坤,桑长波,李珍宝.  安全与环境工程. 2016(02)
[3]大空间建筑有毒有害气体扩散的仿真模拟研究[J]. 李辉,刘天生.  职业卫生与应急救援. 2016(01)
[4]煤矿瓦斯爆炸有害气体传播规律分析[J]. 朱振,张军波.  能源技术与管理. 2014(03)
[5]综采割煤粉尘运移影响因素的数值模拟[J]. 谭聪,蒋仲安,陈举师,王佩.  北京科技大学学报. 2014(06)
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[7]地铁站点有害气体扩散三维可视化研究[J]. 简洪登,范湘涛,王金鑫.  测绘科学. 2013(01)
[8]室内有害气体连续泄漏扩散质量浓度模型的研究与分析[J]. 王志荣,蒋军成,倪磊.  安全与环境学报. 2011(04)
[9]薄膜液晶面板制造业生产工艺废气污染及治理[J]. 张俊,袁玉梅.  北方环境. 2011(07)
[10]某薄膜晶体管液晶显示器面板生产企业职业病危害防护设施的效果[J]. 茆文革,张锋,张力.  职业与健康. 2010(10)

硕士论文
[1]室内空气环境甲醛污染的数值模拟和风险评价[D]. 彭玉丹.天津大学 2010
[2]井喷事故分析与气体扩散研究[D]. 刘鹏举.湖南科技大学 2009



本文编号：3677622