二阶关联成像系统宽光谱吸收膜研制

发布时间：2017-10-12 17:06

  本文关键词：二阶关联成像系统宽光谱吸收膜研制

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【摘要】：为满足关联成像系统抑制背景的需求,选用Al、Cr和SiO_2作为镀膜材料,依据薄膜吸收理论,结合膜系设计软件设计了宽光谱吸收膜,并采用真空沉积技术获得了该薄膜样品.通过真空阶梯式退火,减小了膜层内应力,解决了薄膜牢固度问题;采用交互式分析对测试结果逆向反演,通过优化工艺参量,使膜系中敏感薄层厚度得以精准控制,并减小了膜厚控制误差.制备的吸收膜在400~1 100nm波段平均吸收率达到99.1%,满足系统使用要求.
【作者单位】： 长春理工大学光电工程学院;
【关键词】： 薄膜 关联成像 阶梯式退火 逆向反演 内应力 吸收膜
【基金】：吉林省重大科技攻关专项(No.20140203002GX)资助~~
【分类号】：O484
【正文快照】： 0引言关联成像亦称鬼成像,其成像具有非定域性,在军事和遥感领域有着良好的应用前景[1-2].二阶关联成像与传统成像系统不同,该系统中包括信号光路和参考光路,其中信号光路经过待测物体,由桶探测器收集信息,参考光路由具有空间分辨率的点探测器收集信息,通过两支光路的符合测量，

本文编号：1019884