Ni80Cr20合金薄膜制备影响因素的试验研究

发布时间：2018-04-19 05:38

  本文选题：直流磁控溅射 + 镍铬薄膜　； 参考：《工具技术》2017年07期

【摘要】：利用直流磁控溅射的方法制备Ni80Cr20合金薄膜,以氩气流量、氩气工作压强、溅射功率作为三因素进行正交试验,在溅射时间相同的条件下分别测试了薄膜厚度、表面粗糙度、电阻率并进行了极差分析。分析结果表明:在一定范围内,氩气工作压强与溅射功率对薄膜厚度的影响较大;在氩气工作压强为3.0Pa时,薄膜厚度与溅射功率近似成正比关系;随着氩气流量的增大,Ni80Cr20薄膜厚度呈现先增大后减小的趋势;在氩气流量为50cm~3/min时,薄膜厚度达到最大值;各因素对薄膜表面粗糙度及电阻率影响不明显。
[Abstract]:Ni80Cr20 alloy thin films were prepared by DC magnetron sputtering. The thickness and surface roughness of Ni80Cr20 alloy films were measured under the same sputtering time, using argon flow rate, argon working pressure and sputtering power as three factors.The resistivity is also analyzed.The results show that the ar working pressure and sputtering power have great influence on the film thickness in a certain range, and the film thickness is approximately proportional to the sputtering power when the argon working pressure is 3.0Pa.With the increase of argon flow rate, the thickness of Ni80Cr20 film increases first and then decreases. When argon flow rate is 50cm~3/min, the thickness of Ni80Cr20 film reaches the maximum value, and the influence of various factors on the surface roughness and resistivity of the film is not obvious.
【作者单位】： 中北大学;
【基金】：山西省国际科技合作项目(2015081018)
【分类号】：TB383.2;TG146.15

【参考文献】

相关期刊论文 前2条

1 安春华;武文革;伏宁娜;张新宇;;NiCr薄膜传感器的切削力无线监测系统设计[J];制造技术与机床;2016年01期

2 武文革;成云平;杜晓军;;刀具嵌入镍铬合金薄膜微传感器切削力测量的研究(英文)[J];Journal of Measurement Science and Instrumentation;2014年04期

【共引文献】

相关期刊论文 前1条

1 李学瑞;武文革;安春华;成云平;刘丽娟;隋安平;;Ni80Cr20合金薄膜制备影响因素的试验研究[J];工具技术;2017年07期

【二级参考文献】

相关期刊论文 前1条

1 李学瑞;武文革;成云平;李琦;;一种45°直头外圆车刀薄膜测力传感器的设计与研究[J];制造业自动化;2014年11期

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 路晓艳;刘玉岚;王彪;;薄膜厚度对1-3型BaTiO_3-CoFe_2O_4多重铁性薄膜相变温度的影响[J];北京科技大学学报;2008年05期

2 胥宏;李波;;基于相移干涉的显微镜薄膜厚度测量[J];工具技术;2009年10期

3 袁庆龙,徐立华;电子显微镜测量薄膜厚度的方法[J];山西矿业学院学报;1994年04期

4 袁庆龙,徐立华;污线法测量厚度的分析与比较[J];真空科学与技术;1995年04期

5 钱芸生,富容国,徐登高,常本康;实时测量器件中光学薄膜厚度的新方法研究[J];真空科学与技术;1998年06期

6 李爱侠,费振乐,王翠平,宋学萍;薄膜厚度对蒸发制备Cu膜内应力的影响[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2004年12期

7 沈博侃;王志红;钟智勇;曾慧中;;利用MFM研究薄膜厚度对Co_(60)Fe_(20)B_(20)薄膜磁畴结构的影响[J];电子显微学报;2006年03期

8 胡秀丽;游佰强;于海涛;;一种提高薄膜厚度测量灵敏度的方法[J];材料开发与应用;2010年05期

9 范江玮;王锋;孙钦蕾;韩小刚;;多层模型计算椭偏法测量的SiO_2/Si超薄膜厚度[J];测试技术学报;2012年05期

10 李雪勇;严钦云;崔丽玲;;薄膜厚度对Al掺杂ZnO薄膜性能的影响[J];广州化工;2011年16期

相关会议论文 前3条

1 沈伟东;刘旭;叶辉;顾陪夫;;确定薄膜厚度和光学常数的一种新方法[A];第四届华东真空科技学术交流展示会学术论文集[C];2003年

2 蔡琪;孟凡明;宋学萍;孙兆奇;;基于透射光谱确定薄膜厚度的一种新方法[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年

3 徐从玉;廖家轩;王滨;张宝;李嶷云;张高俊;;薄膜厚度对Y掺杂Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜结构及介电性能的影响[A];第十七届全国高技术陶瓷学术年会摘要集[C];2012年

相关硕士学位论文 前4条

1 石莹;条纹扫描法测量薄膜厚度技术研究[D];西安工业大学;2013年

2 李浩然;条纹法则测量薄膜厚度技术研究[D];西安工业大学;2012年

3 金禹;Bi2201薄膜厚度测定及择优取向的X射线法研究[D];东北大学;2008年

4 刘永强;小角度XRD的实现及应用[D];杭州电子科技大学;2014年

，

本文编号：1771842