TiAlON太阳能吸收膜的制备及高温性能衰减分析

发布时间：2018-06-02 11:45

  本文选题：TiAlON薄膜 + 热稳定性　； 参考：《太阳能学报》2017年10期

【摘要】：采用直流磁控溅射制备AlON/TiAlON(LMVF)/TiAlON(HMVF)/Cu型太阳能光谱选择性吸收薄膜,并对其光学性能及高温下的衰减机理进行研究。吸收膜沉积态的吸收比和发射比分别为0.951和0.045(100℃)。在500℃的大气气氛中热处理200 h后涂层的光学性能出现小幅衰减。主要的衰减机制为薄膜在高温下O、N和Cu发生轻微扩散及氧化。结果表明AlON/TiAlON(LMVF)/TiAlON(HMVF)/Cu型太阳能吸收膜具有良好的光学性能,可适用于CSP中高温发电及民用生活等方面。
[Abstract]:AlON/TiAlON(LMVF)/TiAlON(HMVF)/Cu type solar selective absorption thin films were prepared by DC magnetron sputtering and their optical properties and attenuation mechanism at high temperature were studied. The absorption and emission ratios of the deposited films are 0.951 and 0.045 鈩，

本文编号：1968645