基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析

发布时间：2018-06-13 15:02

  本文选题：薄膜 + 薄膜表征　； 参考：《中国激光》2017年12期

【摘要】：掠入射X射线反射(GIXR)由于检测精度高且对检测薄膜的无损伤而被广泛用于薄膜检测和高精度表征。GIXR是一种基于数值拟合的间接检测方法,因此在薄膜微观结构的求解,特别是复杂多层膜膜系的求解过程中对数值优化算法的要求较高。为此提出了基于量子衍生遗传算法(QIGA)的薄膜GIXR拟合求解方法,并基于QIGA对Si单层膜和等周期Mo/Si多层膜的GIXR分别进行拟合求解。结果表明,该方法具有求解速度快、拟合精度高的明显优势,说明QIGA在光学薄膜表征方面有潜在的应用价值。
[Abstract]:Grazing incident X-ray reflectance (GIXR) is widely used in thin film detection and high precision characterization because of its high detection accuracy and non-damage. GIXR is an indirect detection method based on numerical fitting, so it can be used to solve the microstructure of thin film. Especially in the process of solving the complex multilayer film system, the numerical optimization algorithm is required. In this paper, a Quantum Derivative genetic algorithm (QIGA) is proposed to solve the GIXR fitting method of thin films. Based on QIGA, the GIXR of Si monolayer and equiperiodic Mo / Si multilayer films are respectively fitted and solved. The results show that this method has the advantages of fast solution speed and high fitting accuracy, which indicates that QIGA has potential application value in the characterization of optical thin films.
【作者单位】： 长春理工大学理学院;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金青年科学基金(61405189) 吉林省科技发展计划(20150101019JC,20170312024ZG)
【分类号】：O484

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本文编号：2014420