快速热退火增强非晶SiC_xO_y薄膜蓝绿光发射特性研究

发布时间：2018-06-14 14:42

  本文选题：碳氧化硅薄膜 + 等离子增强化学气相沉积　； 参考：《南京大学学报(自然科学)》2017年03期

【摘要】：采用甚高频等离子增强化学气相沉积技术,以SiH_4,CH_4和O_2作为反应气源,在150℃下制备非晶碳氧化硅薄膜,并对薄膜进行不同条件下快速热退火处理,研究快速热退火处理对其结构和发光特性的影响.实验表明,原始沉积薄膜在可见光全波段展现较强的光致发光特性,经过快速热退火处理后,其发光强度显著增强.薄膜在700℃经过快速热退火10s后,相比于原始沉积薄膜,其发光强度增强6倍,肉眼可见强的蓝绿光光发射.光荧光谱(PL)分析表明,薄膜的发光峰位不随激发波长的改变而发生明显变化.通过结合拉曼(Raman)光谱及傅里叶红外吸收(FTIR)光谱对薄膜的微结构及键合结构分析,分析了不同退火温度和退火时间对其蓝绿光发射增强机制的影响.
[Abstract]:The effect of annealing temperature and annealing time on the emission enhancement mechanism of blue - green light was studied by means of Raman spectroscopy and FTIR spectroscopy .
【作者单位】： 韩山师范学院材料科学与工程学院;
【基金】：国家自然科学基金(61274140,61306003) 广东省自然科学基金(2015A030313871) 广东高校优秀青年创新人才培养计划(YQ2015112)
【分类号】：O484

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本文编号：2017743